宏廣新技南科工啟動在地供應，半導體特殊氣體生產邁向ESG永續

半導體供應鏈中特殊氣體和化學品的領導廠-宏廣新技，位於南科的專業氣體純化分裝工廠，以及耗資1億元的高純化氣體奈米實驗室日(27日)前正式啟用，身為護國神山群的特殊氣體供應商，在BCP(Business Continuity Planning)要求下實現在地化供應，並期許成為第三方公證單位，提供高純化氣體和化學品之高端專業分析驗證，將為台灣的半導體特殊氣體化學品供應鏈，做出巨大貢獻。

日商神助攻，宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI)，以及百年企業三井物產株式會社(MBK)，這兩家日商企業入股後，不僅握有全球稀缺的原物料資源，藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術，並投資在南科工的新廠擴建，第一期廠區2,400坪，將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸，接著第二期2,600坪廠房，也將在年底啟用，作為特用氣體倉儲使用，以及製造氟碳類氣體產品，預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一，提供特殊氣體種類將超過8-9種以上，完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術，在地化短鏈供應。

半導體供應鏈中特殊氣體和化學品的領導廠-宏廣新技，日(27日)前南科新廠落成啟用典禮貴賓合影。圖／業者提供

宏廣新技執行長張錫濱表示，COVID-19後及地緣政治因素帶給半導體供應鏈不能再依賴世界工廠，全球供應鏈都朝友岸工廠發展，各客戶近年也加速BCP要求，重要的原物料供應不能單靠單一國家，且要就近生產供應，宏廣南科廠宣示啟動在地化，提供高端特用純化技術，來服務台灣半導體產業，穩健邁向ESG永續經營。

張執行長指出，在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下，宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術，將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物，純化為半導體廠所需求的超高純CO2，超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質，因此氣體的純度會影響到整個製程的良率，目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機，宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2，用在7奈米製程，甚至是5奈米以下，高端製程愈精進發展，對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛！

立委陳亭妃委員在特殊氣體鋼瓶簽名，象徵啟用高純氣體實驗室和生產在地化供應。圖／業者提供

張執行長自詡為半導體特殊氣體的領先企業，有信心、決心和專業高端技術，結合日本在原物料上的尖端研發，宏廣不只是提供產品也是技術的橋樑，感謝半導體客戶先進製程的要求，使宏廣不斷精進，未來台南成功營運模式將整廠輸出到日本、美國、德國，足見宏廣在半導體供應鏈上扮演著關鍵角色，期待與台灣半導體產業在全球佈局更上一層樓。